Author Affiliations +
Dong-Kiu Park,1 Hyun-Sok Kim,1 Moo-Young Seo,1 Jae-Wuk Ju,1 Young-Sik Kim,1 Mir Shahrjerdy,2 Arno van Leest,2 Aileen Soco,2 Giacomo Miceli,2 Jennifer Massier,2 Elliott McNamara,2 Paul Hinnen,2 Paul Böcker,2 Nang-Lyeom Oh,3 Sang-Hoon Jung,3 Yvon Chai,3 Jun-Hyung Lee3
1SK hynix, Inc. (Korea, Republic of)
2ASML Netherlands B.V. (Netherlands)
3ASML Korea Co., Ltd. (Korea, Republic of)