Author Affiliations +
M. Beggiato,1 D. Cerbu,1 R. Loo,1,2 W. Sun,3 A. Moussa,1 G. Bast,4 K. Fukaya,3 C. Beral,1 A.-L. Charley,1 N. Janardan,1 A. Cross,4 G. Lorusso,1 M. Isawa,3 A. Belmonte,1 G. Sankar Kar,1 J. Bogdanowicz1
1imec (Belgium)
2Univ. Gent (Belgium)
3Hitachi High-Tech Corp. (Japan)
4KLA Corporate Headquarters (United States)