Author Affiliations +
Philip Groeger,1 Ulrich Denker,1 Robin Zech,1 Stefan Buhl,1 Matthias Ruhm,1 Mingyu Kim,2 Hongseok Jang,3 Chunsoo Kang,3 Dongyoung Lee,3 Hyunjun Kim,3 Sukwon Park,3 Bohye Kim,3 Honggoo Lee,3 Sangho Lee,3 Dongsub Choi,4 Jeonghoon Lee4
1Qoniac GmbH (Germany)
2Qoniac Korea Ltd. (Korea, Republic of)
3SK Hynix, Inc. (Korea, Republic of)
4KLA Korea (Korea, Republic of)